对于高效过滤器进行检漏我们应该在安装高效过滤器之后要确认高效过滤器和配套的静压箱，看看有没有发现泄漏是否在规定的允许范围之内。如果确认高效过滤器是合格的，那么我们就可以保证洁净室的安全运行。
同时要进行区分，高效过滤器安装之后的检漏和厂家的效率测试是不一样。后者仅仅是对反渗透过滤器的效率和相关性能进行测试，而前者则是对安装过程中多种因素的检漏。
DOP法：
这种方法曾经是国际上测试高效过滤器海绵常用的方法。它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯（DOP）液滴，也称为“热DOP”，“量”为含DOP空气的浑浊程度。将DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。
粒子计数法：
该方法在欧洲通用，美国超高效空气过滤器测试方法也比较类似，是目前国际上的主流海绵测试方法。尘源为多分散相液滴，或确定粒径的固体粉尘。有时，过滤器厂商要按照用户的特殊要求，使用大气粉尘或其他特定粉尘。
若测试中使用的是凝结核计数器，就必须使用粒径已知的单分散相试验尘源。主要测量仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器。
用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验，计数器给出每点的粉尘的个数，还可以比较各点的局部效率。
